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三維形貌輪廓儀的應用和技術特點

發布時間:2018-10-24      點擊次數:888
    三維形貌輪廓儀對材料表面的三維輪廓測量,粗糙度測量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數據分析,能直接測量較大面積的樣品,而不用通過拼接。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 CF4激光共聚焦傳感器內,被照亮的小孔成像在被測量的表面,激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,只有當焦平面和真實表面的點配對的時候,探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動,使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據特殊的內插技術,該系統的精度能達到10nm以下。 
    三維形貌輪廓儀的應用: 
?  1、集成電路封裝和表面貼裝:快速獲得封裝翹曲變形、引線共面性、粗糙度、焊料的體積、引線輪廓。 
?  2、厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量 
?  3、精密部件:測量精密五金配件、塑料、半導體材料的輪廓、粗糙度等 
    三維形貌輪廓儀的技術特點:
?  1、常規的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的結合。
?  2、雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描),即使在長程測量時也可以得到優化的小區域三維測圖。
?  3、針尖掃描采用的壓電陶瓷驅動掃描模式。
?  4、在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
?  5、針尖掃描采用雙光學傳感器,同時擁有寬闊測量動態范圍及亞納米級垂直分辨率。
?  6、軟件設置恒定微力接觸。
?  7、簡單的2步關鍵操作,友好的軟件操作界面。
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