三維形貌輪廓儀的應用和技術特點

    三維形貌輪廓儀對材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析，能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 CF4激光共聚焦傳感器內，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據特殊的內插技術，該系統的精度能達到10nm以下。