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太陽能行業3D形貌測量應用(金手指金字塔有成熟測量方案)

發布時間:2019-01-22      點擊次數:812

μsurf solar可以選配微分干涉 (DIC,微分干涉像差顯微技術)用于再現金字塔的角度變化及快速檢測晶片上的臟污和缺陷。與通過硬件實現DIC功能相比,由NanoFocus 3D形貌測量開發的實現軟件DIC具備眾多優點:如使用方便,可同時顯示不同角度和方向,不受高度范圍限制等。
運用新算法的區域測量能夠提供穩定和可重復的3D數據。通過結合高度和反射強度數據,可以地確定邊緣,從而可以以納米級精度測量手指的高度和寬度。為了進一步提高測量效率,測量系統可以選配針對太陽能行業的便捷自動化軟件。
應用
μsurf solar無需制備樣品即可進行無損測量分析,這使得μsurf solar不僅適合在實驗室使用,還適合于生產環境。對于μsurf solar,產品表面是否具有蝕刻結構或抗反射涂層并不會影響測量結果;此外,對于具有諸如陡峭的邊緣、納米范圍復雜幾何形狀和結構等棘手特征的樣品,μsurf solar在幾秒鐘內即可提供且可重復的3D測量數據。
金字塔結構
μsurf solar自動確定金字塔的分布、角度、高度、數量和同質性。

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