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激光共聚焦顯微鏡和白光干涉儀的應用區別

發布時間:2019-02-20      點擊次數:3630

白光干涉儀普遍應用在眾多行業檢測中,對于現代越來越復雜的工藝檢測,也是心有余而力不足,德國NanoFocus AG研發的3D共聚焦顯微鏡的誕生,二者之間的區別優劣勢有哪些呢?

白光干涉儀優點:

1.大范圍測量(數平方毫米)

2.Z軸分辨率能達到0.1nm,水平分辨率0.3μm

3.快速測量,10s以內,但測量前需校正傾斜度

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡

Z軸分辨率為1nm,沒有白光干涉儀高,但是測量到亞微米及以上尺寸時精度和白光干涉基本相同。

 

白光干涉儀的問題點:

a)無法檢測到陡峭角度——當使用干涉儀測量陡峭角度的對象時,由于干涉圖案集中在這些區域,無法準確的收集信息。(通常傾角35°)

 

使用白光干涉儀進行觀察電磁波干擾導致無法測量曲面

 

 

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優勢

 

檢測到陡峭角度大83°——共焦測距系統,它利用白光反射強度可以測量有大角度特性的形狀,并且不會有噪點形狀。

 

 

 

使用共聚焦顯微鏡進行觀察光會穿過凹槽檢測曲面

 

白光干涉儀的問題點:

 

a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好,測量是難以執行,因此,很多樣品并不能測量。如果反射光在參考面和測量面有巨大差異,那么樣品也是不能測量的。(反射率必須大于4%的樣品才能測量)

 

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優勢:

a)全反射率測量——可吸收反射光范圍廣,幾乎對樣品沒有特殊要求,一般顯微鏡可以看的,就可以看。(反射率0%-100%都能測量)

 

如果參考面的反射率為 100%,同時測量面的反射率也約等于 100%,則會顯示清晰的干涉條紋。但是,如果測量面的反射率僅為 1%,對比度就會變得模糊。

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