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表面三維形貌檢測儀在工業改進中不斷革新

發布時間:2019-04-26      點擊次數:853

隨著科學技術的發展,微電子、光學、機械行業對超精密加工元件的表面面形精度檢測要求越來越高,工業生產在線檢測對測量儀器的穩定性、便攜性、靈活性和功能性提出了更高的要求。而國內現有儀器均局限于實驗室檢測,用于在線檢測的表面三維形貌檢測儀完全依賴進口,價格昂貴。本作品旨在設計一款高性能、低成本表面形貌在線檢測儀,滿足相關產業檢測需求。基本設計思路:本作品在Mirau型干涉顯微鏡的基礎上,改進了光機系統結構和軟件算法。在保證精度的前提下,本作品體積減小,穩定性提高,滿足了在線檢測的要求。創新點:1、采用光機電算集成化技術,實現了光機系統緊湊化設計,建立了軟件與電路系統通過自反饋矯正系統誤差的機制,滿足了在線檢測要求;2、測量臺采用背測式結構,具有正置、倒置兩種測量模式,打破了被測元件尺寸限制,可以實現被測件的快速切換;3、該作品采用重疊平均移相干涉算法和自主開發的軟件系統,實現測量過程的自動控制。

在市場需求的推動下,用于工業生產的干涉儀向小型化發展,并且對儀器的抗干擾能力、操作簡便性、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強的型表面微觀形貌檢測儀器,具有很好的發展前景。

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