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3D激光顯微鏡廣泛應用案例

發布時間:2019-06-20      點擊次數:1317

目前,檢測表面粗糙度比較常用的方法是接觸式和跟非接觸式測量等,而其中接觸式因其測量迅速方便、測量精度高、使用成本較低等良好特性而得到廣泛使用。
非接觸式的光點相當于接觸式的觸針。由于非接觸式與接觸式不同,不會直接接觸目標物,因此不會有觸針磨損或目標物損傷的缺點。但是,為了正確測量目標物的形狀,光點直徑的大小非常重要。光點直徑越大,越只能獲取比實際形狀更加平滑的數據。
當采用觸針法對加工工件表面進行表面粗糙度測量時,探測頭上的觸針在被測表面輕輕劃過。由于存在輪廓峰谷的起伏,所以觸針將在垂直與被測輪廓表面方向上產生上下起伏的移動。這種移動量雖然非常微細,但足以被敏感的電子裝置捕捉并加以放大。放大之后的信息則通過指示表或其他輸出裝置以數據或圖形的方式輸出。這就是觸針式表面粗糙度測量儀的工作方式。其中,按其傳感器類型可以分:電感式、壓電式、光電式等;按其指示方式又可分為:積分式、連續移動式。
觸針式表面粗糙度測量儀由傳感器、驅動箱、指示表、記錄器和工作臺等主要部件組織。其中電感傳感器的工作原理為:傳感器測桿一端裝有觸針(由于金剛石耐磨、硬度高的特點,觸針多選用金剛石材質),觸針的要求曲率半徑很小,以便于全面的反映表面情況。
測量時將觸針搭在加工工件的被測表面上,并使針尖與被測面保持垂直接觸,利用驅動裝置以緩慢、均勻的速度拖動,當觸針在被測表面拖動滑行時,將隨著被測面的輪廓峰谷表面作反向上下運動,并將運動幅度放大,從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發生變化,并將觸針微笑的垂直位移轉化為同步成比例的電信號。
不會損傷樣品表面,與接觸式比較,可測量細微凹凸,測量時間短,可與觀測圖像同時比較形狀(顯微鏡類型),可獲取媲美SEM 的高分辨率、超深度圖像(彩色3D 激光顯微鏡)。

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