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白光干涉三維形貌儀精密表面輪廓測量儀器

發布時間:2019-08-02      點擊次數:1416

白光干涉儀目前在3D檢測領域是精度的測量儀器之一,在同等系統放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法達到其加工精度要求。
    白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
光學干涉測量法作為一種重要的非接觸表面三維形貌測量手段,一直是國內外高精度測量領域的研究熱點。基于干涉原理的光學表面三維形貌檢測方法發展很快,其精度和測量范圍都達到了很高的指標。基于移相干涉算法(PSI)的光學表面形貌檢測儀多以激光為光源,精度可優于1nm,測量范圍在微米量級。在市場需求的推動下,用于工業生產的白光干涉儀干涉儀向小型化發展,并且對儀器的抗干擾能力、操作簡便性、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強的型表面微觀形貌檢測儀器,具有很好的發展前景。

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