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還不認識日立SEM掃描電子顯微鏡的,請看這!

發布時間:2022-04-24      點擊次數:171
  日立SEM掃描電子顯微鏡,是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發展起來的一種新型的電子光學儀器,被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。
  
  其特點是制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等,對于導電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
  

日立SEM掃描電子顯微鏡

 

  日立SEM掃描電子顯微鏡是利用材料表面微區的特征(如形貌、原子序數、化學成分、或晶體結構等)的差異,在電子束作用下通過試樣不同區域產生不同的亮度差異,從而獲得具有一定襯度的圖像。
  
  成像信號是二次電子、背散射電子或吸收電子,其中二次電子是主要的成像信號。高能電子束轟擊樣品表面,激發出樣品表面的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
  
  對樣品的要求:
  
  1、不會被電子束分解;
  
  2、在電子束掃描下熱穩定性要好;
  
  3、能提供導電和導熱通道;
  
  4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝;
  
  5、觀察面應該清潔,無污染物;
  
  6、進行微區成分分析的表面應平整;
  
  7、磁性試樣要預先去磁,以免觀察時電子束受到磁場的影響。
  
  日立SEM掃描電子顯微鏡除能檢測二次電子圖像以外,還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進行掃描電鏡觀察前,要對樣品作相應的處理。
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