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三維表面形貌儀都有哪些特性

發布時間:2018-12-24      點擊次數:1027
     三維表面形貌儀是一款光學表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析,以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理,微米和納米形狀,圓盤,圓度,球度,臺階高度,距離,面積,角度和體積進行多范圍測量。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理(性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。
    三維表面形貌儀的特性: 
    1、采用白光軸向色像差技術,可獲得納米級的分辨率 
    2、測量具有非破壞性,測量速度快,度高 
    3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…); 
    4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面 
    5、不受樣品反射率的影響 
    6、不受環境光的影響 
    7、測量簡單,樣品無需特殊處理 
    8、Z方向測量范圍為27mm
    三維表面形貌儀其強大且友好的軟件控制使所需獲得的數據不僅速度快,而且精度高,并提供了多種不同的表面分析方法,與系統匹配的軟件包含參數設定(如掃描尺寸、線數、步進、轉換臺速度、數據采樣速度)和數據后處理功能,可以定量地測量表面粗糙度及關鍵尺寸,諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等,并計算關鍵部位的面積和體積等參數。
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