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三維表面形貌儀原理、特點和應用領域

發布時間:2017-05-22      點擊次數:1722
    一、三維表面形貌儀測量原理:低相干白光同時照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發生干涉后由陣列式CMOS探測器接收,由于探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術)連接,所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大,背景信號補償和結果計算輸出,成像于計算機就實現了樣品表面的快速三維形貌測量。
 
   二、三維表面形貌儀技術特點:
    1、每秒一百萬張二維圖像
    2、無損表面形貌檢測和分析
    3、高精度在線/離線檢測
    4、模塊化設計,超高集成靈活性
    5、無需苛刻的工作環境(振動,噪聲,溫度等)
    6、可應用于科研和工業領域
 
   三、三維表面形貌儀應用領域:
   
   工業:
   食品安全在線檢測
   微電子集成電路表面形貌在線檢測
   印刷電路板品質檢測
   零件器件表面劃痕損傷檢測
   微機械精加工質量控制,如鐘表,微機械器件等
   電子產品零件在線監控,如手機,筆記本電腦,平板等
   微流體器件三維形貌檢測
   在線檢測設備集成
   證件防偽,安檢
 
   科研:
   MEMS器件
   微機械零件表面形貌觀察和測量
   微光學器件(太赫茲、紅外、微波、天線陣列)三維形貌表征
   生命科學:生物組織/生物體的 三維形貌測量
   偵查取證:表面劃痕觀察,微小證據三維形貌快速表征
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