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蘇州定制化共聚焦系統

簡要描述:NanoFocus µsurf custom量身定制的測量系統可以根據客戶的具體需求進行樣品平臺和軟件的定制,功能齊全,可以自動測量,能精確捕捉樣品的三維結構和微納米尺度的復雜幾何形狀,并擁有超高光學分辨率和Z全面廣泛的三維表面形貌分析處理能力。該機臺還配備了整合計算機和測量系統的工作臺,可以將一些測試報告等資料放在工作臺的抽屜里,便捷可靠。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:其他
  • 更新時間:2017-12-28
  • 訪  問  量:641

詳細介紹



量身定制的測量系統 
      NanoFocus可提供?surf custom以滿足客戶的具體要求。采用了模塊化設計,豐富的硬件與軟件可以由客戶選擇。歸功于模塊化設計,測量系統可滿足不同的測量任務和自動化需求,測量方便、準確。usurf custom是自動化質量控制的保證,在研究實驗室和生產環境有廣泛的應用。
      μsurf custom量身定制的測量系統可在同一臺機器上搭配基于不同技術的多種傳感器以滿足不同的測量需求,根據測量需求及應用,我們可為您配備*的傳感器,同樣,為了保證zui高舒適級別的用戶體驗,所有的傳感器控制都集成在同一軟件中。 


定制化共聚焦系統應用 
μsurf系列用來測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。 
精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結構有要求的零部件,比如發動機汽缸、刀口等; 
生命科學:測量stents支架上鍍層厚度等 
微電子機械系統:微型器件的檢測,醫藥工程中組織結構的檢測,如基因芯片等 
半導體:檢測微型電子系統,封裝及輔助產品結構設計 
太陽能:太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等 
紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量 
LED:用于藍寶石襯底的測量,抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌 

定制化共聚焦系統技術參數 
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
測量時間:2~10秒 
測量原理:非接觸、共聚焦 
X/Y方向:平臺移動范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達驅動,X/Y方向分辨率:0.3μm 
Z方向測量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm 
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選) 
離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配) 
計算機:高性能計算機控制系統,功能強大且全面的軟件,有拼接功能 
配有專業工作臺:尺寸1550x800x750 mm (LxH) 
工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA 
材質:鋼鐵、橡膠、大理石 
重量:約150KG+80KG 
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

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