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CNC尼康顯微鏡1pm高分辨率光干涉

簡要描述:CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺,以及大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺。可測定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時,可用夾具保持其直立固定狀態。

  • 產品型號:BW-M7000
  • 廠商性質:其他
  • 更新時間:2021-01-22
  • 訪  問  量:716

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口應用領域環保,化工,能源,電子,紡織皮革

尼康旗下的NIKON INSTECH公司(總部:東京)將推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統“BW-M7000”(圖1)。該系統可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀(材料表面圖案及粗糙度、表面上的微小落差等)。

表面性狀測定采用尼康自主開發的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋,高精度決定各像素的焦點位置。通過使用這種方式,可在2.5倍(視野4.4×4.4mm)至100倍(視野111.0×110.0μm)的所有倍率下實現三維算數平均高度(Sa)為0.1nm級別的表面性狀評估。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面,無需更換光學濾光片等部件。另外,在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm~40μm的透明薄膜的厚度。

可通過程序控制手段實現全自動測定,能夠自動實施對焦、調整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作。可自動測定多個視野,除了材料研發一線之外,還可輕松用于品質管理及品質保證現場。

CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺,以及最大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺。可測定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時,可用夾具保持其直立固定狀態。

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